У Нідерландах анонсовано постачання першого серійного літографічного сканера TwinScan EXE:5200 від ASML для компанії Intel. Цей пристрій є ключовим для виробництва чіпів за технологією Intel 14A (1,4-нм). Попри те, що Intel оголосила про скорочення капітальних витрат на $4 млрд цього року, це не вплине на графік отримання новітнього EUV-обладнання з високою числовою апертурою (High-NA), зазначає ресурс Tweakers.
Що варто знати
Раніше ASML вже поставила три сканери TwinScan EXE:5000, але ці моделі були призначені лише для дослідницьких цілей. Для серійного виробництва чіпів необхідне використання сканерів TwinScan EXE:5200 або більш нових версій. Також було зазначено, що TSMC отримає перші зразки цього обладнання.
Згідно з інформацією з Нідерландів, Intel отримає компоненти TwinScan EXE:5200 вже в найближчі місяці. Цей сканер забезпечує обробку понад 185 кремнієвих пластин на годину, що значно перевищує продуктивність попередніх моделей. Intel планує розпочати обмежене виробництво чіпів за технологією 14A вже наступного року.
ASML очікує масове постачання обладнання High-NA EUV до 2028 року і працює над розробкою новішого обладнання з ще вищою числовою апертурою (0,75), яке має бути готове до 2032 року.
Попри високу вартість сканерів, Intel, за інформацією нідерландських ЗМІ, не збирається економити на закупівлях, розуміючи, наскільки важливе освоєння передових технологій для підтримки конкурентоспроможності.